Применение тиристорных регуляторов мощности Thyro при выращивании монокристаллов по процессу Чохральского

11 марта 2020

Печи для выращивания кристаллов по процессу Чохральского обычно разрабатываются для осесимметричного температурного распределения в зоне кристаллизации.

Однако нагреватели и стержни, обеспечивающие подведение электрического тока создают неоднородное высвобождение тепла. Температура в зоне контроля должна контролироваться с высокой точностью.

Процесс Чохральского:

  • Полностью тепловая и/или индуктивная плавка поликремния
  • Введение затравочного кристалла
  • Начало кристаллического роста
  • Вытягивание кристалла

Выращивание монокристаллического слитка

Решение: Вакуумная печь для массового производства монокристаллов

  • Система контроля: PLC/PC
  • Мощность: 220 — 300 кВA
  • Скорость вытягивания: ~ 1 — 200 мм/мин
  • Длина слитка: ~ 2.5м.
  • Температура: >, 1450 °C

Моделирование теплообмена при выращивании

3D распределение температуры в боковых и нижних нагревателях

3D распределение температуры в зоне кристаллизации

Функция регулятора мощности

Цифровой тиристорный регулятор мощности SCR Thyro-A до 1500А | Advanced Energy
Надежный и точный регулятор мощности серии Thyro-A предназначен для решения широкого спектра задач, требующих контроля напряжения, мощности и тока.
Цифровой тиристорный регулятор мощности SCR THYRO-PX до 2900А | Advanced Energy
Thyro-PX представляет собой тиристорный регулятор мощности с возможностью коммуникации и может применяться в 1-фазных и 3-фазных сетях, где необходима точная регулировка напряжения, тока или мощности.